可以设计任何您想要的纳米图形,而无需昂贵的光刻板。瑆创科技的这款产品能在实现优越的光刻性能的同时,保证低成本以及更便捷的用户体验。
在多层曝光期间,GDS 图案被覆盖以进行可视化。 控制 GUI(左窗口)有一个加载的 GDS 的小地图,允许通过一键导航到晶圆上的任何区域。
BEAM 在 100-240 VAC 50-60j Hz 上运行。 自动感应线路电压和频率; 因此,无需设置任何开关。 检查您所在地区的工作电压是否兼容。
UV Laser Writer - Maskless Lithography BEAM
Maskless Lithography UV Direct Laser Writer system, minimum linewidth 2um guaranteed, 0.8 µm achievable, minimum pitch 1.6 µm achievable, exposure time2 s for 1 writefield, maximum writefield 400 µm ✕ 400 µm, laser power 40mw, laser wavelength 405nm